2025.10.28
三氟化氮(NF?)是半導(dǎo)體、面板制造中常用的等離子蝕刻氣體,常溫下無色無味,但毒性極強,同時其和水蒸氣、氫氣、氨氣、一氧化碳或硫化氫等的混合氣體,遇火花即發(fā)生猛烈爆炸,因此對其揮發(fā)泄漏狀況需要進行監(jiān)測,那么等離子蝕刻氣體三氟化氮泄漏如何監(jiān)測呢?三氟化氮(NF3)泄漏可通過固定式在線氣體檢測儀實時監(jiān)測,結(jié)合聲光報警、數(shù)據(jù)傳輸與風(fēng)機聯(lián)鎖,實現(xiàn)24小時連續(xù)預(yù)警,保障半導(dǎo)體等高危作業(yè)環(huán)境安全。